研究所用エリプソメータ PHE101

オングストロームアドバンス社は、エリプソメトリーの標準を設定し、最も手頃な価格で最高のエリプソメトリー技術を提供します。オングストロームアドバンス社は、薄膜の厚さ測定、屈折率や消衰係数分析（nとk）の光学特性評価用のエリプソメトリーのフルレンジを提供します。オングストロームアドバンス社のエリプソメーターは、様々な用途に使用することができ、MIT、NASA、カリフォルニア大学バークレー校、イェール大学、デューク大学、NISTなどの一流の研究所で使用されています。 PHE101エリプソメータは、材料ライブラリ、広可変角度、アライメント用セカンドレーザー、強力なソフトウェアなど、多くの新機能を備えた最新の離散波長エリプソメータです。 優れた精度と繰り返し精度 高速回転アナライザー操作 材料ライブラリを備えた強力なソフトウェア 最も広い可変角度10-90 オートフォーカスがサンプルのトポグラフィーとウェハーの「弓形」ミスアライメントを補正 測定角度は0.01°以下の高い安定性と再現性 測定スピードは1秒以下 PHE101エリプソメーターは、単層および多層膜の屈折率、消衰係数（n & k）、膜厚を測定するために設計された理想的な離散波長エリプソメーターです。 PHE101エリプソメータは、精密な光学分析器/検出器と安定した機械設計により、迅速で正確な読み取りを行います。PHE101エリプソメーターには、Windowsソフトウェアパッケージが付属しており、操作のスピードと使いやすさがさらに向上しています。