非破壊・非接触3次元光学式プロファイラー(3次元白色干渉型顕微鏡・表面形状粗さ計)ContourX-200は、高度な特性評価、カスタマイズ可能なオプション、使いやすさを完璧に融合させ、クラス最高の高速、高精度、再現性のある非接触3次元表面形状測定を実現します。ゲージ対応で設置スペースを選ばない小型のコンパクトサイズに加え、広域視野角(FOV)対応の 5メガピクセル(5MP)デジタルカメラと新型の電動XYステージにより、2D/3Dでの高分解能測定を実現しました。高いZ軸分解能と精度を可能にし、また、高い操作性能と解析機能を実現するソフトウェアVision64を搭載しています。ContourX-200は、従来の共焦点顕微鏡や一般的な光学式プロファイラーでは制限のある測定条件においても、ブルカー独自の白色光干渉法(WLI)技術により幅広い様々な業界にて、理想的な測定精度とパフォーマンスを提供します。
自動化
機能
ルーチン化することで、より迅速な測定・分析が可能に
電動式
XYステージ
定量的な計測を可能にする低ノイズ・高速動作を実現
振動耐性
コンパクト設計
測定の安定性とゲージに収まる再現性を実現
妥協のない、クラス最高の計測技術
卓上型3次元光学式プロファイラーContourX-200は、40年以上にわたるブルカー独自の光学技術(WLI)をベースに開発されています。定量的な計測に必要な低ノイズ、高速計測、測定結果に対する高い精度を実現しています。複数の対物レンズと統合された特徴認識機能は、様々な視野とサブナノメートルの垂直分解能で特徴を追跡することができ、様々な業界の品質管理やプロセスモニタリングのアプリケーションにスケールに依存しない測定結果を提供します。ContourX-200は、反射率0.05%から100%まで、あらゆる表面形状粗さの状態や条件に対応します。また、革新的なステージ設計を採用しており、より大きなスティッチング能力を実現したほか、1200x1000の計測アレイを備えた5メガピクセル(5MP)カメラを搭載し、低ノイズ、広い視野、高い横方向の解像度を実現しています。
ContourX-200は、強力なVisionXpressとVision64のユーザーインターフェースを利用して、研究室や工場などの現場に合わせた何千通りのカスタム分析・計測を提供します。またブルカーのユニバーサル・スキャニング・インターフェロメトリー測定モード(USI)により、表面形状を自動で感知し、信号処理を最適化することで、最も正確でリアルな表面形状を算出します。また、新開発のカメラと電動XYステージによる広い視野により、さまざまなサンプルや部品に柔軟に対応し、高いスループットを実現しています。ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより、最高の光学性能を利用できるようになり、高い性能と柔軟性を兼ね備えています。