ポシファのPVC3000シリーズMEMSサーモパイル真空センサーは、0.1ミリトル(0.013パスカル)から大気圧(760torr、101Kパスカル)までの有効レンジを提供することで、真空計測に画期的な進歩をもたらしました。対照的に、ピラニ真空センサーの上限レンジは通常30torrです。ピエゾ抵抗式圧力センサーは10torr以下の真空を測定できません。高価な静電容量式圧力センサーは、レンジの下限が0.1torrに制限されています。このように、PVC3000は2つのセンサー、すなわちピラニセンサーとピエゾ抵抗/静電容量式圧力センサーの役割を果たすことができます。さらに、PVC3000の消費電力は10mWと低い(デューティ・サイクル75%のパルス励起を想定)。より小さなデューティ・サイクルを使用することで、消費電力をさらに低減できます。PVC3000は、ポジファの第2世代熱伝導率センサダイ(PTCD20)を使用しており、気体の熱伝導率は真空圧に比例するという原理に基づいて動作します。PVC3000は、SMDまたはTO金属缶のいずれかのフォームファクターで入手可能です。
特長
- レンジ 0.0001~760 Torr (0.013~101K Pa)
- 低消費電力:<=10 mW
- 溶剤に浸して洗浄でき、耐用年数が長い
用途
- 一次真空下で維持されるあらゆるクローズドシステムのリーク検出
一次真空に保たれたあらゆる密閉システムでのリーク検知
真空断熱パネル
- ポータブルおよび固定式真空計
絶対最大定格
- 動作温度:-40~85
- 保存温度: -40~90
- 衝撃:ピーク100 g(5回落下、3軸)
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