温度センサー PMF2000

圧力流量マスフロー

PMF2000は、ポジファの第3世代サーマルフローダイを搭載しており、微細加工における最新の技術革新の恩恵を受けています。このセンサーダイは、一対のサーモパイルを使用して、マスフローによる温度勾配の変化を検出し、優れたS/Nと再現性を実現します。センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁構造により、競合技術で使用される表面空洞や壊れやすい膜が不要となり、センサーは目詰まりや圧力衝撃に強くなります。PMF2000シリーズにはアナログ出力のPMF2000VとデジタルI²C出力のPMF2000Dがあります。対応最大流量は200sccm～10SLMです。センサーは0～50℃の温度範囲で温度補償されています。リニアライズされた出力は、最大限の柔軟性と使いやすさを提供します。 用途 - 酸素濃縮器 - ネブライザー - CPAP装置 - リーク検出 - 分光法 - マスフローコントローラー - 燃料電池制御 - 環境モニタリング 特長 - 堅牢でコスト効率の高いパッケージで卓越した性能 目詰まりや圧力衝撃に強い "ソリッドステート "センシングコア（表面空洞や壊れやすい膜なし - 高精度（4% typ.） - 高速応答時間（5 ms typ.） - リニア出力と温度補償 - ヌルドリフトを最小限に抑えた長期安定性 最大定格 - 動作温度： -25～85 - 校正温度範囲0～50 °C - 保存温度： -40～90 - 湿度： 0～100% RH、結露なし - 衝撃：ピーク100 g（5回落下、3軸）