マイクロアレースキャナー Wafer

ホールウェハー・スキャン--ハイスループット・プラットフォーム ホールウエハ イメージキャプチャ 画像解像度：20,000×20,000ピクセル（～1.6GB）、10um/pixel 画像フォーマットTIFF ウェハー全体画像 解析中 オートアライメント、オートサークルリング 分解能：2、5、10、40μm レーザー発振波長：532 nm、635 nm レーザー出力 532 nm:13+/-10% mW 635 nm:13+/-10% mW 対応する蛍光体Cy3およびCy5 ウエハサイズ：4"～12 "Si/ガラスウエハ スキャン範囲：ウェハ全体 ローダー容量：1枚 検出方式リアルタイムコンフォーカル、PMT2個によるダイナミックフォーカス スキャン速度：21分 @10 μm (8インチウエハ) 感度<0.2蛍光体/μm2 ダイナミックレンジ10⁴ デジタル分解能16ビット ファイル形式TIFF 操作ソフト（バイオスキャンコントロール＆バイオイメージアナライザー）