Yocto IIIプラズマシステムは、主に以下の用途で使用されています:活性化、洗浄
基本機器
電圧の供給230 V
ガス供給
プロセスガス(フィルター経由
バルブによる流量(調整不可
フィルターによる換気
真空チャンバー
ホウケイ酸ガラス(UHP)製丸型カバー付き(約φ50mm、長さ150mm)。
電極
真空チャンバーの外側にある一対の電極
コントロール
プラズマ発生用のジェネレーター
2段スイッチ
スタートボタン
電源スイッチ
発電機
周波数は100kHz:出力0~30W
真空ポンプ
ハウジング内に設置
オイルフリー
容量:0.75m3/h
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