2.6リットルのローコストプラズマラボシステムZEPTOは、手動、PC、PCCE制御で、主に以下のアプリケーションを対象としています。
小ロット生産、分析(SEM、TEM)、医療技術、滅菌、研究開発部門、考古学、繊維技術、プラスチック技術。
基本装置
ハウジングのサイズは、コンポーネントやオプションによって異なります。
電圧供給 230 V
ガス供給
ニードルバルブ
マスフローコントローラー(MFC)
真空チャンバー
ホウケイ酸ガラス(UHP)製丸型カバー付き(約∅ 105 mm, L 200 mm または L 300 mm)
W6 (約∅ 160 mm, L 180 mm)
料金
製品キャリアアルミニウムパネル、ステンレススチール、ホウケイ酸ガラス
電極
単層または多層
真空槽の外側に1対の電極を配置
操作方法
マニュアル
PCCEコントロール (Microsoft Windows CE)
ロータリースイッチ
圧力測定
ピラニ
タイマ
デジタル
アナログ
ジェネレーター
周波数
40 kHz:パワー0~100 W
13.56MHz:パワー0〜200W
スペアパーツキット、圧力計、腐食性ガス設計、ガスボトル、減圧器、ファラデーケージ、プラズマ重合用アクセサリー、テストインク、酸素発生器、スローベント、スローポンプオフ、メンテナンス/サービス、現地語ドキュメント、現地でのインストールとトレーニング。ご要望に応じて、その他のオプションも提供可能です。
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