10.5 Lattre LOW-COST PLASMA LAB SYSTEM ATTO(手動、PC、PCCE制御)は、主に以下の用途を想定しています。
少量生産、分析(SEM、TEM)、医療工学、滅菌、研究開発部門、考古学、繊維技術、プラスチック技術
ハウジング
幅425mm、高さ275mm、奥行き450mm
幅525mm、高さ257mm、奥行き450mm
真空チャンバー
ガラス製(ホウケイ酸ガラス)
∅ 211 mm, L 300 mm
チャージ
製品キャリアアルミニウムパネル、ステンレススチール、ホウケイ酸ガラス
ガス供給
ニードルバルブによる2系統のガス供給
MFC
ジェネレーター
40kHz/200W
13.56MHz/300W
真空ポンプ
容量:最小3 m3/h
部品保持具
製品搬送装置1台
操作方法
マニュアル
PCCEコントロール(Microsoft Windows CE)
ロータリースイッチ
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