低圧プラズマ表面洗浄装置 Femto

半自動医療

フェムトプラズマシステムは、モジュール方式でさまざまなバリエーションに組み合わせることができます。以下に、Femtoプラズマ・システムを使用した最も一般的なオプションの概要を紹介します。フェムトプラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています。 分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、小型製造、プラスチック技術、医療工学、マイクロシステム工学、感性工学、滅菌、繊維技術。 基本装置 ハウジングは、コンポーネント/オプションにより異なります。 チャンバー容量：バージョンにより、1.9～6 リットル 電源電圧230 V（テーブルユニット用）、400 V（スタンドアローンユニット用）/3フェーズ 真空チャンバー ステンレス製丸型カバー付き（約φ100mm、長さ278mmまたは600mm) ステンレス製長方形、ヒンジ式ドア（約W 103 x D 285 x H 103) アルミニウム製長方形、ヒンジ式ドア（約∅ 103 mm x 103 mm、L 280 mm または L 600 mm) 石英ガラス（UHP） 丸型、蓋付きまたはヒンジ式ドア（約∅ 95 mm, L 280 mm または L 600 mm) ホウケイ酸ガラス（UHP）製丸型、蓋付きまたはヒンジ付きドア（約∅ 95 mm、L 280 mmまたはL 600 mm) チャージ 製品キャリア（オプション：水冷式） 石英ガラス製ボート 粉体用回転ドラム バラ物用回転ドラム アルミ板 ステンレス板 ホウケイ酸ガラス シリカガラス 電極 単層または多層 RIE 制御装置 セミオートマチック ロータリースイッチ PCCE制御 (Microsoft Windows CE) PCコントロール (Windows 10 IoT) 圧力測定 ピラニ 容量式圧力計（腐食性ガス用バージョン） タイマー デジタル