プラズマ表面洗浄装置 Pico

半自動医療

Picoプラズマシステムは、モジュール方式でさまざまなバリエーションに組み合わせることができます。以下に、Picoプラズマシステムを使用した最も一般的なオプションの概要を説明します。Picoプラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています。 分析（SEM、TEM） 考古学 自動車産業 研究開発部門 半導体技術 小ロット生産 プラスチック技術 医用工学 マイクロシステム技術 センサー技術 滅菌 繊維技術 基本装置 ハウジングのサイズは、コンポーネントやオプションによって異なります。 チャンバー容量：バージョンにより異なる、4～15リットル 電圧供給230 V（テーブルユニット用）、400 V（スタンドアロンユニット用）/3相電源 ガス供給 ニードルバルブ マスフローコントローラー（MFC） 真空チャンバー ステンレス製丸型カバー付(約φ150mm, L 320 mm または L 600 mm) ステンレス製長方形、ヒンジ式ドア（約W160mm x H160mm x D325mm または 600mm） アルミニウム製長方形、ヒンジ式ドア（約∅ 160 mm x 160 mm、L 325 mm または L 600 mm） - ガラス製長方形、ヒンジ式ドア（約∅ 160 mm x 160 mm、L 325 mm または L 600 mm 石英ガラス（UHP）製丸型、蓋付きまたはヒンジ式ドア（約∅ 130 mm, L 300 mm または L 600 mm） - ホウケイ酸ガラス（UHP）製丸型、蓋付きまたはヒンジ式ドア（約∅ 130 mm, L 300 mm または L 600 mm ホウケイ酸ガラス（UHP）製丸型、蓋付きまたはヒンジ付きドア（約∅ 130 mm, L 300 mm または L 600 mm) 料金 製品キャリア（オプション、水冷式）、石英ガラスボート、パウダー回転ドラム、バルク品回転ドラム、アルミパネル、ステンレススチール、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス 電極 単層または多層 RIE