低圧プラズマ表面洗浄装置 Nano

自動医療

Nanoプラズマシステムは、モジュール方式で様々なバリエーションに組み合わせることができます。以下に、Nanoプラズマシステムを使用した最も一般的なオプションの概要を説明します。ナノプラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています。 分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、小型製造、プラスチック技術、医療工学、マイクロシステム工学、感覚技術、滅菌、繊維技術。 基本設備 ハウジングのサイズは、コンポーネントやオプションによって異なります。 チャンバー容量：バージョンにより、18～36 リットル 電圧供給230 V（テーブルユニット用）、400 V（スタンドアロンユニット用）/3相。 ガス供給 ニードルバルブ マスフローコントローラー（MFC） 真空チャンバー ステンレス製丸型カバー付(約φ267mm, L 420mm or L 600mm)。 ステンレス製長方形、ヒンジ式ドア（約W 240 mm x H 240 mm x D 420 mm または 600 mm） ステンレス製長方形、ヒンジ式ドア（約W 240 mm x H 240 mm x D 420 mm または 600 mm アルミニウム製長方形、ヒンジ式ドア（約∅ 240 mm x 240 mm、L 420 mm または L 600 mm) 石英ガラス（UHP）製丸型、蓋付きまたはヒンジ式ドア（約∅ 240 mm, L 400 mm または L 600 mm) ホウケイ酸ガラス（UHP）製丸型、蓋付きまたはヒンジ付きドア（約∅ 240 mm, L 400 mm または L 600 mm) 料金 製品キャリア（オプション、水冷式）、石英ガラスボート、パウダー回転ドラム、バルク品回転ドラム、アルミパネル、ステンレススチール、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス 電極 単層または多層 RIE