Tetra 45プラズマシステムは、モジュール方式で様々なバリエーションに組み合わせることができます。以下では、Tetra 45プラズマシステムを使用した最も一般的なオプションの概要を紹介します。
高さ125 mm、幅572 mmのチャンバーは、特に大型部品に適しています。チャンバーはアルミニウムの押し出し材で作られているため、長さを柔軟に調整することができます。
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モデル1、標準システム
基本ユニットタイプAのロータリースイッチ制御
真空チャンバー 長方形、アルミニウム、ヒンジ式ドア
(幅: 572 mm x 奥行き 650 mm x 高さ 125 mm)
ガス供給
ニードルバルブ
モデル2、標準システム
BASIC PCコントロール、ベーシックユニットAタイプ
真空ボックス 長方形、アルミニウム製、ヒンジ式ドア
(幅: 572 mm x 奥行き 650 mm x 高さ 125 mm)
ガス供給
MFC
モデル3、標準システム
FULL PCコントロール(Windows 10 IoT)基本ユニット タイプAにて。
(幅850mm×奥行800mm×高さ1,700mm)
真空チャンバー 長方形、アルミニウム、ヒンジ式ドア
(幅572mm×奥行650mm×高さ125mm)
ガス供給
MFC
モデル4、腐食性ガスシステム(例:フッ素系プロセスガス用)
基本ユニットA型ロータリースイッチ制御
(W 850 mm x D 800 mm x H 1,700 mm)
真空ボックス 長方形、アルミニウム製、ヒンジ式ドア
(幅572mm×奥行650mm×高さ125mm)
ガス供給
ニードルバルブ
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