低圧プラズマ表面洗浄装置 Tetra 2800

自動医療

チャンバー容積2,800リットル、PC制御の生産システム「Tetra 2800-LF-PC」は、連続生産（洗浄、エッチング、活性化）に使用されています。 アナリティクス アーキオロジー 自動車関連 研究開発部門 半導体技術 小ロット生産 プラスチック技術 医用工学 マイクロシステム技術 センサー技術 滅菌 繊維技術 制御盤 統合されました。幅600mm、高さ1700mm、奥行き800mm 真空チャンバー ∅ 1200 mm、D 2500 mm チャンバー容量 約2800リットル ガス供給 MFCによる3系統のガス供給 ジェネレーター 一般的なプラズマの周波数が使用可能 制御 PC制御（Windows）、産業用フィールドバス