パリレンは、ポリパラキシリレンのポリマーグループの略称です。ポリマーは、異なる置換パラキシリレンからなる。コーティングの元の基本はダイマーである。これは2つの同一のサブユニット、いわゆるモノマーからなる分子化合物である。
パリレン・コーティングには多くの利点があります。パリレン...
完全なコンフォーマルで、シャープエッジ、ボアホール、ブラインドホールなどの複雑な基板形状にも適応する。
約0.5μmの膜厚ですでにピンホールがない。
化学的に不溶性で、さまざまな化学薬品に耐性がある。
水分や化学物質に対して非常に優れたバリア性を持つ
高い絶縁耐力
乾式潤滑性がある(摩擦係数が低い)
疎水性:水に対する濡れ角は92°~98°。
可視光波長域で90〜96%の透明性(タイプによる)
生体適合性:C型とN型のパリレンを分離することができ、USPクラスVI、ISO 10993、FDAの認定を受けることができる。
コーティング剤
パリレンN, C, D, F-VT4
可能なコーティングの厚み
0.05〜50μm
外形寸法
幅 約2200mm
奥行き 約2700 mm
高さ 約1600 mm
熱分解
4 kW / 最大850 °C
チャンバー
直径: 500mm
長さ:610mm
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