エスコ・エアシャワー(EAS)は、クリーンルームやその他の管理環境の入り口に戦略的に設置される自己充足型のチャンバーです。クリーンルームに出入りする粒子状物質を最小限に抑え、二次汚染のリスクを軽減します。
管理された環境に出入りする人や物質は、18~30m/s(3543~5906fpm)の高速エアジェットでH14でろ過された空気で「スクラビング」されます。汚染された空気は、ユニット内のベースから吸引され、フィルターにかけられ、再循環されます。
エスコは、クリーンルーム用エアシャワーの製造・建設のパイオニア企業であり、以下の分野でさまざまな用途に使用されています。
マイクロエレクトロニクス
半導体
製薬
スプレー塗装
実験動物研究
食品市場
エスコは、40年以上にわたる業界での経験を生かし、クロスコンタミネーションの可能性を低減し、クリーンルームの完全性を高める、信頼性の高いエアシャワーとクリーンエアソリューションを一貫して製造、供給しています。
特徴
高速エアジェット
18~30m/sの高速シャワージェットにより、粒子状物質を効率的に除去することができます。
ステンレス製ノズル
永久潤滑式ダイレクトドライブ遠心送風機とステンレス製エアノズルの組み合わせで使用します。
プログラム可能な運転
運転モードは現場でプログラム可能
信頼性の高いマイクロプロセッサー制御システム
マイクロプロセッサー・コントローラーがすべての機能を管理
H14フィルター
H14フィルターは、0.1~0.2ミクロンの粒子に対して99.995%の効率でろ過します。
プレフィルトレーション
85%の捕集率を持つ使い捨てのプレフィルターが、メインフィルターの寿命を延ばします。
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