湿った実験台 FA LFWB

完全自動化された層流ウェットベンチ フェルコンの湿式加工ツールは、基板や製品に化学エッチングや洗浄が必要な場合に使用されます。 これは、例えばシリコンウェハーの大規模な製造の一部として、またはステント製造などの医療用途で使用されることが多いです。フェルコンのウェットベンチは、手動で操作するか、ロボットによる製品搬送で自動的に操作します。フェルコンのウェットベンチは、オプションで火災検知および消火システムを備えたFM(Factory Mutual)材料を使用して製造することができます。あらゆるタイプのクリーンルームに適しており、HEPAフィルターを備えた層流式エアフローを採用することもできます。 手動ウェットプロセスベンチ：ポリプロプレン（酸ベース）、ステンレススチール（溶剤ベース）、ラミナーエアフロー付き プロセスバス：自動クイックダンプリンス - 恒温槽 - 加熱PFA S/Sバス - DI OVERFLOW WEIRバス - メガソニックバス - スピンデベロッパーバス - 超音波バス - 暖房機と冷却装置付きのアンビエントテンポバス - グローブウォッシュ