FM Appoved層流酸湿潤ベンチ
フェルコンの湿式加工ツールは、基板や製品に化学エッチングや洗浄が必要な場合に使用されます。 これは、例えばシリコンウェハーの大規模な製造の一部として、またはステント製造などの医療用途で使用されることが多いです。フェルコンのウェットベンチは、手動で操作するか、ロボットによる製品搬送で自動的に操作します。フェルコンのウェットベンチは、オプションで火災検知および消火システムを備えたFM(Factory Mutual)材料を使用して製造することができます。あらゆるタイプのクリーンルームに適しており、HEPAフィルターを備えた層流式エアフローを採用することもできます。
手動ウェットプロセスベンチ:ポリプロプレン(酸ベース)、ステンレススチール(溶剤ベース)、ラミナーエアフロー付き
プロセスバス:自動クイックダンプリンス - 恒温槽 - 加熱PFA S/Sバス - DI OVERFLOW WEIRバス - メガソニックバス - スピンデベロッパーバス - 超音波バス - 暖房機と冷却装置付きのアンビエントテンポバス - グローブウォッシュ
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