実験用キャビネット HLF

層流換気付き固定型

Horizonatl 層流石英管収納キャビネット フェルコンの湿式加工ツールは、基板や製品に化学エッチングや洗浄が必要な場合に使用されます。 これは、例えばシリコンウェハーの大規模な製造の一部として、またはステント製造などの医療用途で使用されることが多いです。フェルコンのウェットベンチは、手動で操作するか、ロボットによる製品搬送で自動的に操作します。フェルコンのウェットベンチは、オプションで火災検知および消火システムを備えたFM(Factory Mutual)材料を使用して製造することができます。あらゆるタイプのクリーンルームに適しており、HEPAフィルターを備えた層流式エアフローを採用することもできます。