3 軸マイクロマニピュレーター Sensapex µM

μMマイクロマニピュレーターはSensapex社の最新製品です。3軸で構成されており、ご要望に応じて4軸目を追加することも可能です。SMXマイクロマニピュレーターと同様、設置面積が非常に小さいため、クリーンセットアップや1つのステージに複数のマニピュレーターを設置するセットアップに最適です。センサペックスのマニピュレーターは全て、ゼロドリフトのソリッドステート技術を採用しています。マニピュレーターの可動質量が小さいため、ステージに取り付けられた他のマニピュレーターに振動を与えません。 コンパクトなプラグアンドプレイシステムで無制限の拡張性 クローズドループ制御を内蔵したゼロドリフトのソリッドステートドライブ 20mmレンジ、分解能5nm、繰り返し精度20nm 仮想および物理的な第4軸オプション 使いやすい電極交換メカニズム 自動位置決めのためのミリ秒レベルの同期性 荷重0～150 g EPC 10 USBとEPC 800 USBの全てのヘッドステージを搭載することができます。ステージのスペースに制限されることなく、お望みのマニピュレーター数だけシステムを拡張できます。