NPSは、白色光共焦点ポイントセンサーと高精度な電動ステージを組み合わせたものです。
あらゆる表面のサブミクロン高度を非接触で測定することが可能です。
ハイスピードプロファイル
高精度の電動XYステージで試料を1軸移動させることにより、選択した間隔で一連のフォーカスポイントを取得し、高速プロファイルを作成します:高さ、距離、半径、線粗さ(Ra、Rz、Rtなど)などの測定が数秒で可能です!
高解像度サーフェス
体積、表面粗さ(Sa、Sz)、複雑な形状、3次元のうねりなど、さまざまな情報を測定することが可能です!
白色光コンフォーカル測定
NPSは、プロファイルやサーフェススキャンのために、リアルタイムで高度を測定する革新的な非接触型共焦点3Dプロフィロメーターです:
白色光LEDのビームはビームスプリッターを通して投射される
と、試料の表面に対するカラーレンズと
試料からの反射光ビームは、フィルターで
共焦点ピンホールで、単一波長を完全に分離する
NPSの分光器は、この波長を正確に変換しています
を高さ情報に変換し、NPSソフトウェアでビジュアルに表示します。
で、1秒間に最大2000件の高さ情報を取得します。
XYステージの移動時にプロファイルをリアルタイムで作成する
2つのモードを選択することができます:プロファイルとサーフェス
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