本製品は、5軸電動ステージと大型チャンバーにより、大型試料にも対応できるプレミアムテーブルトップSEMです。高電圧は1~30kV(6段階)の範囲で調整可能です。
- ウィンドウズ10対応
- 5軸フルモータライズ
- 45度から90度までのチルトにより、試料を完全に観察することができます。
- ペアSEステレオ画像、または4枚のBSE画像から3D再構成が可能。
- EBSD用70度チルト可能(オプション)
- 最大サンプルサイズ:直径80mm、厚さ40mm
使いやすいグラフィックインターフェース
ステージナビゲーター付きCCDカメラ
SEMに取り付けたCCDカメラで、試料を入れた試料ホルダーの画像を撮影することができます。
画像は自動的にSEMソフトウェアに読み込まれます。
画像をクリックするとステージが移動し、サンプル上を移動することができます。
標準仕様
最大5120*3560画素の画像
ビーム分解能 5nm(SE)
4つの可変アパーチャーと連続可変スポットサイズ
High VacモードとLow Vacモード
SE・BSE検出器
デュアルモード
1~30kV (6段階5kV)
自動調整
ステージナビゲーター 5軸
2つのモード:高真空、低真空
2個の電子検出器:SE、BSE(ダイオード4個)
BRUKER Nanoの統合EDS
SH-5500Pは、EDS(BRUKER社製ESPRIT 2.1)およびEBSD分析に対応しています。
EDSは2機種用意されています:
QUANTAX 100
シリコンドリフトデテクター(SDD)内蔵窒素フリー
ホウ素からウランまでの検出、129ev Resolution 10 & 30 mm² 。
定性・定量分析ソフトウエア
QUANTAX 100 Advanced
マルチポイントとエリアスペクトル取得
ラインプロファイル
X線マッピングとスペクトラルイメージング
特殊工具に対応した汎用性の高いチャンバー
オプション機能
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