BSE検出器 (半導体タイプ)
1kV~30kV 加速電圧可変式
マルチバキュームモード - 標準 / チャージアップ低減
2分以内に画像観察が可能
3軸ストローク - X,Y,R
オプション - EDSシステム、冷却ステージ
非導電性サンプルもコーティングなしで観察可能、使い勝手が良い
自動調整機能
試料交換後、2分以内に装置準備が可能
コンパクトでフレキシブル
親切なGUI
高画質画像
最大5メガピクセルの画像解像度
良好な被写界深度
複数の画像フォーマットに対応
画面上で計測可能。距離、角度...など
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