光学的限界を超えた高倍率
SE検出器(オプション-BSE検出器)
1kV~30kV 可変加速電圧
マルチバキュームモード - 標準/チャージアップ低減
2分以内に画像観察が可能
5軸ストローク - X、Y、R、Z、T
4穴可変アパーチャ(30/50/100/200µm)
オプション - EDSシステム、冷却ステージ、低真空コントロール
非導電性サンプルもコーティング無しで観察可能、使い勝手が良い
自動調整機能
試料交換後2分で準備完了
コンパクトでフレキシブル
親切なGUI
高画質画像
最大5メガピクセルの画像解像度
良好な被写界深度
複数の画像フォーマットに対応
画面上での測定。距離、角度...etc.
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