走査電子顕微鏡 SU series

多目的床置き

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ リスクを低減する試料交換シーケンス スループットを向上する試料交換室 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* ステージ移動の安全性を高める、チャンバスコープ* ■可動範囲を全域サポート、大型試料の全域観察を実現したSEM MAP GUIに連携する、インチャンバカメラ対応 観察可能領域全域をカバー 360度回転に対応 ②自動機能で操作性が進化 ■マウスひとつでオペレーション可能なシンプルGUI ■様々な自動機能 オート調整のアルゴリズム改良。待ち時間が1/3以下（*S-3700N比） フォーカス調整の高精度化 独自のIntelligent Filament Technology（IFT）を搭載 ③多彩なアクセサリ ■多目的大型試料室により豊富なアクセサリ搭載可能 ■SEM/EDSインテグレーションシステム* ■多様な観察ニーズに対応する検出器 高感度UVDの搭載で、CL観察も可能に* 高感度半導体反射電子検出器で、組成/凹凸など多様な画像切替可能