透過型電子顕微鏡顕微鏡 HT7800 series

STEM実験用研究用

透過電子顕微鏡（以下、TEM：Transmission electron microscope）は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡（TEM）HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ高分解能レンズを備えたHT7830を揃えた。 本稿では、開発したHT7800シリーズの特長とその応用例を紹介する。 HT7800の概要と特長 HT7800の外観写真を図1に示す。従来機種HT7700を継承し、蛍光板観察用スクリーンカメラによる明るい部屋でのTEM操作を実現している。HT7800シリーズは、加速電圧を20 kVから120 kVまで印加することができ、倍率は、50～1,000倍（LowMagモード）、200～600,000倍（Zoomモード、HT7830は最高倍率1,000,000倍）に対応している。 （1）操作性 明るい部屋で簡単操作。新しいグラフィックユーザーインターフェース（GUI）と操作パネルにより、簡単かつ迅速なTEM解析を実現。 倍率変更時のモード切り換えを不要とした（オプション）。 （2）高画質 日立独自の複合対物レンズの搭載に加え電子光学系の改良により、HT7800では低倍率の広視野・高コントラスト観察、あるいはHT7830での高分解能観察と、試料・解析目的に応じ選択可能とした。さらに加速電圧20 kVでの観察も可能とし、無染色試料などの高コントラスト観察が実現した。 高分解能レンズ搭載の「HT7830」では軸上格子分解能0.19 nmを保証している。図2に、一例としてHT7830を用いて撮影した格子間隔0.19 nmのSiの高分解能TEM像を示す。