自動サンプル準備システム

電子顕微鏡用卓上真空

本装置は、FIB装置の真空チャンバー内でイオンビームにより微小試料を取り出し、STEMやTEMなどの分析に必要なウェーハ部分を作製するために使用します。 特徴 FIBマイクロサンプリングユニットおよびFIBマイクロサンプリング方式 FIBマイクロピラーサンプリングの一例 半導体デバイスから分析ポイントを含むマイクロピラー試料を直接切り出します。 FIBの入射方向を変化させることで、様々な形状の微小試料を切り出したり、トリミングしたりします。 システム構成例 FIB-STEMシステム 新開発の半導体デバイス評価システムは、FB2200 FIBシステムとHD-2700 200kV STEMで構成されています。不良箇所の検索からサブナノメートルスケールの構造解析までを数時間で行います。