FIB/SEM顕微鏡 NX5000

光学走査電子透過型電子顕微鏡

日立Ethos FIB-SEMは、優れたビーム輝度と安定性を備えた最新世代のFE-SEMです。Ethosは、ナノスケールの精密加工のためのイオン光学系と組み合わせた低電圧での高解像度イメージングを提供します。 主な特長 1.デュアルレンズモード付き高性能FE-SEMカラム 超高分解能観察（HRモード：セミインレンズ） リアルタイム高精度端点検出（FFモード：フィールドフリー（時間共有モード） 2.ハイスループット材料処理 高イオン電流密度による超高速加工（最大ビーム電流：100 nA） 自動処理および観察のためのユーザープログラム可能なスクリプト 3.マイクロサンプリングシステム アンチカーテイング効果（ACEテクノロジー）のための完全に統合されたサンプル方向制御 あらゆる方向で均一なラメラのTEM試料調製 4.トリプルビーム対応、高度な品質結果を提供 低加速希ガスイオンビームによる材料処理 革新的な機能により、Gaイオン関連やその他のミリングアーチファクトを低減 5.様々なアプリケーションに対応する大型マルチポートチャンバーとステージ 大型試料サイズに対応し、抜群のステージ安定性を実現 フルレンジ長距離トラッキング（155 x 155mm） 洗練された電子光学系とマルチシグナル検出 エトスSEMカラムは、磁場と静電場の複合材料で構成されています。 対物レンズシステムで構成されています。高分解能(HR)モードは、試料をレンズシステムの磁場内に浸すことにより、究極の分解能での試料観察を実現します。フィールドフリー(FF)モードでは、高精度な終点ミリングをリアルタイムでFIB処理します。FIB照射のハイパースイッチング