走査電子電子顕微鏡 SU3800

多目的卓上

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ リスクを低減する試料交換シーケンス スループットを向上する試料交換室 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* ステージ移動の安全性を高める、チャンバスコープ* ■可動範囲を全域サポート、大型試料の全域観察を実現したSEM MAP GUIに連携する、インチャンバカメラ対応 観察可能領域全域をカバー 360度回転に対応 ②自動機能で操作性が進化 ■マウスひとつでオペレーション可能なシンプルGUI ■様々な自動機能 オート調整のアルゴリズム改良。待ち時間が1/3以下（*S-3700N比） フォーカス調整の高精度化 独自のIntelligent Filament Technology（IFT）を搭載 ■複数領域の広域観察を可能にする、Multi Zigzag ■取得データによる報告書作成を一括サポート、Report Creator ③多彩なアクセサリ ■多目的大型試料室により豊富なアクセサリ搭載可能 ■SEM/EDSインテグレーションシステム* ■多様な観察ニーズに対応する検出器 高感度UVDの搭載で、CL観察も可能に* 高感度半導体反射電子検出器で、組成/凹凸など多様な画像切替可能 ■STEMホルダー ■3次元モデル表示・計測ウェアHitachi map 3D* ■画像計測ソフトウェアImage Proをサポート 製品紹介プレゼンテーション プレゼンテーションをWEBセミナー形式でご覧いただけます。 会員制サイト“S.I.navi”へのご登録が必要です（ご登録無料）。 リスクを低減する試料交換シーケンス GUI上で試料交換時の手順が表示されます。人の誤動作による試料接触のリスクなどを回避で きます。高さを確認しにくい凹凸のある試料や大型試料でも安心して試料交換が可能です。 スループットを向上する試料交換室* 試料交換装置を装着することにより、試料室を大気開放することなく試料 の交換ができ、スループットを向上できます。 -