4分割反射電子検出器を使用することで試料の傾斜等を行うことなく、3次元像を構築、高さ、粗さを測定できます。
レポート画面上で直接編集。
任意のレイアウトに変更可能です。
2点間の高さ寸法計測、表面積や体積計測、
簡易表面粗さ(面粗さ、線粗さ)などの測定ができます。
計測したワークフローはレポート上に表示され確認・出力できる為トレーサビリティが確立できます。
3次元計測ソフトウェア Hitachi map 3Dの概要
Hitachi map 3D は日立の4分割反射電子検出器で取得した信号を用いて4方向の表面形状を計算するため、試料傾斜、視野位置合わせを行うことなく3次元モデルの構築が可能なソフトウェアです。
自由度の高いプロファイル計測
任意の場所から断面・表面を抽出し、高さ測定や断面上での2点間計測が可能です。
任意の場所で断面プロファイル表示
画面上の領域から縦・横・斜めと任意の測定場所を選択できます。
画面上の測定場所を移動させると、計測結果がリニアに変化します。
高精細な3次元像表示
豊富な3次元レンダリング処理と スムーズな動画表示
様々な計測・レポート機能
ISOに準拠した面粗さ、線粗さの計測が可能
レポートレイアウト上で工程・作業前後の比較表示ができます。
各種フォーマットに対応した出力形式
レポートデータはWord対応形式、PDF形式などで出力可能
3次元構築データはtxt形式、3Dプリンタ対応形式などに対応
詳細なヘルプ機能と多言語対応
粗さに関する数式まで記載されたヘルプ機能
オペレーションは11言語に対応
項目 - 内容
インポート機能 - 4素子画像データ自動選択・読み込み機能
測定性能 - 深さ精度±20%以下(参考値)
キャリブレーション、試料および観察条件に依存
検出可能角度±60°以下(参考値)
TM4000用±50°以下(参考値)
測定機能 - ISO、JIS規格に準拠した計測が可能
任意の場所で断面プロファイル表示
2点間のX、Y、長さ、角度など各種情報表示、表面積・体積測定
断面プロファイル上での2点間のX、Y、Z、長さ他各種測定
簡易表面粗さ(線粗さ、面粗さ)計測
ベースライン補正機能(直線、曲線)、レベリング他各種校正
等高線、鳥瞰図表示
レイアウト、テンプレート機能
複数枚画像の合成
輪郭解析
光学顕微鏡・AFM像重ね合わせ
ステレオ像での3次元構築
疑似カラー表示