補償済み ±50 SCCM~±750 SCCM - アナログまたはデジタル出力 10 SLPM~300 SLPM - デジタル出力
ハネウェルZephyr™ HAFシリーズセンサは、規定されたフルスケール流量、および補償温度範囲内で気流を検出するためのデジタルインターフェースを提供します。このセンサは、熱的に絶縁されたヒータと温度検出素子により、空気やガスの流れに高速に反応できます。
Zephyrセンサは、空気と非腐食性気体の質量流量の測定用に設計されています。
10 SLPM~300 SLPM
標準流量範囲は10SLPM、15SLPM、20SLPM、50SLPM、100SLPM、200SLPM、300SLPMで、カスタムの流量範囲にも対応可能です。このセンサは、基板上の特定用途向け集積回路(ASIC)を用いて、完全にキャリブレーションおよび温度補正されています。
HAFシリーズは、0 °C~50 °C [32 °F~122 °F] の温度範囲全体にわたってキャリブレーションされています。最先端のASICベースの補償により、1msの応答時間でデジタル(I2C)出力が提供されます。
±50 SCCM~±750 SCCM
標準型フローレンジには、±50、±100、±200、±400、±750 SCCMがあります。カスタムフローレンジもご利用いただけます。このセンサは、基板上の特定用途向け集積回路(ASIC)を用いて、完全にキャリブレーションおよび温度補正されています。