分光学エリプソメータ Auto SE

研究用

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。 "Auto SE"は、自動XYZステージ・測定箇所の実時間画像・マイクロスポットが標準搭載されております。 加えて、トラブルシューティングとして、包括的な操作指示によって、問題の検出が可能な診断指標を内蔵しております。 簡易操作ができ、多くの自動化機能を有する"Auto SE"は、ルーチン的な薄膜測定からデバイスの品質管理までの幅広い用途にご使用いただけます。 非破壊・非接触による測定 ミューラー行列全16要素測定による薄膜特性評価 カラービジョンシステムによる厳密な測定位置の確認 7種類の電動可変マイクロスポットによる100μm角以下の微小領域測定 電動XYZステージによる高速面内分布測定 初心者でも簡単に測定・評価できる豊富なアプリケーションデータベース 日本語対応の専用ソフトウェア