制御試験機 CHIPREG MFC

流量定量吐出排水用

- 超コンパクトサイズ <22mm - 高いターンダウン比 - 最高の性能対コスト比 - 完全なサブアセンブリによる迅速な市場投入 - 分析用クリーンバージョンあり センサー サーマルMFCセンサー 流量範囲 0～0.2リットル/分 0-0,5 ls/分 0-1 ls/分 0-2 ls/分 0-5 ls/分 0-10リットル/分 0-20リットル/分 ご要望に応じて 低流量（0-1 ml/分まで） 高流量 (0-150 l/分まで) 標準条件 P=1013 mbar (1 atm), T=20°C 使用ガス 空気、N2、O2、CO2、Ar、中性ガス マルチガス、He/H2（ご要望に応じて 精度 フルスケールの±0.2%（最大流量の0～10） 読み値の±2.0%（最大流量の10%～100） 繰り返し精度 < 読み値の1%未満 動作電圧 24 V d.c. ± 10 電流供給 < 100 mA 電気的接続 JSTコネクタ BM06B-GHS-TBT アナログ入出力制御： 0 ～ 5 V d.c. 空気圧接続 インラインバージョン (G1/8'') インラインバージョン (M5) マニホールドマウント 重量 125g デジタル通信インターフェース RS232 RS485 Modbus RTU, その他ご要望に応じます デジタル通信プロトコル 独自プロトコル シール材質 FPM USPクラスVIシール ガス温度 +10 ... +50°C (°50 ... +122°F) 周囲温度 +10 ... +50°C (°50 ... +122°F) ダイナミック・レンジ スタンダード：500:1 プレミアム：1000：1 設定時間 < 500 ms 応答時間 100-500 ms 熱ドリフト フルスケールの±0.004%/℃（最大流量の0～10） 読み値の± 0.04%/℃（最大流量の10～100） 追加オプション USPクラスVIシール、バイオリアクター用ステンレス製マニホールド