IST AGのマイクロフローセンサ(MFS)技術は、高速流量計測のために開発されました。メンブレン方式により、熱質量は最小限に抑えられ、非常に高速な応答時間と低消費電力を実現しています。MicroFlowSensは、流量の測定だけでなく、優れた感度を持ち、流れの方向を検出することができます。MFSフローセンサーは、限られたスペースでのシステムインテグレーションに最適で、PCB上に統合されたセンサーとして提供されます。
MFSサーマルマスフローセンサーのさらなる利点は以下の通りです。
- CTAモードによる高流量、高速応答のアプリケーションのための優れたソリューション
- CTAモードによる非常に高い測定ダイナミック(10'000'000 : 1)バイパスなし
- ブリッジモードによる微小流量の計測とリーク検出のための優れたソリューション
- 腐食性の強いガスや蒸気に対する高い耐薬品性
- 様々な感度と回路トポロジーが可能
- 流れ方向の検出
- お客様のご要望に応じたセンサーレイアウト
IST AG MFS ガスフローセンサは、プロセス制御、ハンドヘルド機器、および医療アプリケーションでの測定に最適です。
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