CROSS SECTION POLISHER™ (CP)は、電子顕微鏡用の試料断面を作成する装置です。
イオンビームで断面を作製するため、研磨のように経験を必要とする方法に比べ、個人差がなく短時間で良質な断面を得ることができます。
IB-19540CP/IB-19550CCPでは、新しいGUIとIoT(Internet of Things)を搭載し、ミリング工程の操作・モニタリングがより使いやすくなりました。高スループットイオンソースと高スループット冷却システムにより、迅速かつスムーズな断面加工が可能です。
特徴
新GUIとIoT(Internet of Things)~ユーザーフレンドリー&リモートコントロール対応
新しいGUIを搭載し、操作手順をわかりやすくしました。
操作パネルのフローチャートに沿って簡単にセットアップが可能。
プリセット機能により、用途や試料に合わせたプロセス条件の保存・呼び出しが可能。
LANに接続し、ウェブブラウザーによるリモートアクセスやコントロールが可能。
複数のCPでミリングプロセスをモニター、調整。
高スループットイオンソース
高スループットイオンソースを標準装備。
イオン源電極の最適化と加速電圧のアップにより、イオン電流密度を向上させました。
加速電圧の向上により、イオン電流密度が向上しました。標準ミリングレートは1,200μm/hとなった。
高スループット冷却システム ~自動冷却・自動常温復帰
常温に戻すための冷却を自動で行うことができます。
また、冷却保持時間や試料冷却温度を維持するため、CP側から液体窒素タンク周辺の真空引きが可能です。
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