JSM-IT810シリーズFE-SEMは、汎用性と高空間分解能を備えた自動化装置です。
イメージングとEDS分析のためのノーコーディング自動化が組み込まれており、合理的で効率的なワークフローを実現します。
新機能により、すべてのSEMユーザーに高品質なデータと充実したユーザーエクスペリエンスを提供します。
機能には、SEM自動調整パッケージ、台形補正機能(EBSD測定に便利)、表面トポグラフィ観察用のライブ3D表面再構成などがあります。
JSM-IT810シリーズにより、FE SEMの操作はかつてないほど簡単になりました。
特長
自動観察・解析機能 "ネオアクション"
分析条件を設定し、測定箇所を選択するだけで、SEM観察とEDS分析を自動化できます。
SEM自動調整パッケージ
SEM自動調整パッケージ(オプション):専用サンプルを用いて倍率校正、ビームアライメント、EDSエネルギー校正を行う機能です。定期的なチェックにより、装置を最適な状態に保ちます。
ライブ3D機能
マルチセグメント、半導体タイプのBSE検出器を選択し、試料表面のライブ3D再構成を作成します。
リアルタイムで3D画像を表示し、サンプルのトポロジーを確認できます。
EDSインテグレーション
SEMによる観察とEDSによる元素分析の垣根を取り払った次世代の操作性。観察画面上でポイント、エリア、MAP、ラインなど様々な分析手法を直接予約でき、すぐに分析を開始できます。
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