EDXRF分光器 JED-2300

エネルギー分散形Ｘ線分析装置（Energy Dispersive X-ray Spectrometer：EDS）は電子顕微鏡にアタッチメントとして装着し、電子線照射により試料から発生した特性X線を検出して元素分析を行う装置です。 特長 トータルデザイン JED-2300 Analysis Station Plus は「観察から分析までシームレスに」をコンセプトに、SEM/FIBとEDS同一メーカーならではのトータルデザインがなされています。 電子顕微鏡画像と分析データを同一フォルダーに保管して「分析データ一覧」として表示できるため、スペクトル等、各種データを分かりやすく一括管理することができます。 また、モーター駆動ステージの装着されたSEM/FIBでは、異なった倍率やステージ位置の電子顕微鏡画像、元素マップの配置をビジュアル的に把握することができ、広領域にわたるデータ管理も容易です。 ♦操作アイコン 操作手順に沿ってアイコンを左から並べました。また、機能が一目で分かるように日本語表示をしました。 ♦インデックス画像 インデックス画像から、取得済データを直感的に見つけることができます。 ♦分析データ一覧 分析視野の電子顕微鏡画像と分析データが、自動的に関連づけられて、同じフォルダーに保存されます。インデックス画像で視野を選択すると、分析データ一覧に視野に関連づけられたデータが表示されるため、データ管理を容易に行うことができます。 ビジュアルピークID 定性分析結果で正しく元素が同定されているかを確認できる機能です。定性分析結果で得られた元素を元に標準スペクトルから合成スペクトルを作製し、元素同定が適切になされているかを視覚的に確認することができます。 測定したスペクトル（ピンク）と、定性分析で同定された元素で合成したスペクトル（青線）を重ねて表示すると、Bi のピーク形状が違うことが分ります。 Bi のピーク位置で再同定し、検出された Pb を追加すると、ピーク形状が合致しました。この結果、Pb も含まれていることが確認できました。 プレイバック 一般的な元素マップは、ピクセル毎に全フレームのX線カウントを積算したスペクトルを保存します。JED-2300 Analysis Station Plus の元素マップは、各フレームの電子顕微鏡画像とスペクトルを保存しています。プレイバック分析では、測定後に元素マップをアニメーションのようにリプレイすることができます。これにより、元素マップ収集時の試料変形の有無や、加熱実験のようなIn-situ実験による元素分析の変化など、多角的に解析する事を手助けします。