加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事が出来ます。
冷却保持時間も長く、液体窒素の消費量を抑えた構造になっています。
液体窒素を入れたまま、短時間で試料の冷却、室温戻し、取り外しが可能です。
大気非曝露環境下で、加工から観察までを行う為の搬送機構が付いています
長
自動加工プログラム
高速加工と仕上げ加工をプログラムすることができます。高品質な断面を短時間で作製できます。また、間欠加工プログラムにより、加工温度を抑えた加工ができます。
自動加工開始モード/自動冷却加工開始モード
設定圧力値、冷却温度に到達後、自動で加工を開始可能です。また冷却加工終了後は自動で室温まで復帰可能です。
間欠加工モード
イオンビーム照射と停止を一定間隔で繰り返し、試料の温度上昇を抑えることができます。
冷却機能と合わせて使用することも可能です。
仕上げ加工モード
高加速電圧の加工後、低加速電圧の加工に自動で切り替えて、短時間で高品質な断面作製が可能です。
特に結晶構造解析のための試料作製に有効です。
マルチパーパスステージ
各種機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、回転断面ミリング、イオンビームスパッタコーティング機能の拡張が可能です。