本器は高精度フロート式流量計と、精密流量制御のできるニードルバルブを組み合せた高級グレードのバルブ付フロート式流量計です。微少流量の計測制御に最適の製品です。
特長
・超微少の流量制御が可能
・精密ニードルバルブ使用
・下部・上部2タイプのバルブ
・豊富なバリエーション
・精密ニードルバルブ使用
・豊富なバリエーション
流量計の全長は120,150,200,250mmの4種類が用意されており用途に応じて選択できます。
・水用にも使用可能
流量2L/min以下で水用の流量計も製作します。
流量レンジ:F.S.0.5~5mL/min ~F.S.10~100L/min
対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(実ガス校正)
その他のガスは換算校正
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください
用途
・機器組込用に
・半導体関連ガス機器に
・バイオ産業向けに
・真空ライン制御に