流体:N₂,Air,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
最大流量:ガス1系統10mL/min~20L/min/合計40L/min ■精度:±2%F.S.
精度:±2%F.S.
安定性、再現性、密閉性、温度特性に優れています。
微少流量制御。
優れた安定性と再現性
優れた気密性
良好な温度特性
クリーンなガス
定流量コントローラーとして使用可能。
極低流量でもガス流量制御が可能。
カスタム仕様により、4流体以上の混合が可能。
(その他、ご要望に応じた様々なカスタム仕様が可能です。)
混合方式 - 流量比混合方式
流量範囲 - 10ml/min〜20l/min
適用ガス - 空気、N2、O2、He、Ar、CO2、その他各種ガス
精度 - 各元素+-2%FS以内
接ガス部材質 - 1.黄銅、NBR、ジュラコン
2.SUS316、FPM、PCTFE
使用温度範囲 - 5°C-40°C
使用圧力範囲 - 49-588(kPa)
耐圧性 - 784(kPa)
配管接続 - 標準PT1/4雌ネジ
外形寸法 - GM-2B 290W × 440H × 350D(mm)
GM-3B 360W × 440H × 350D(mm)
GM-4B 430W × 440H × 350D(mm)
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