LNユニットは、3つのMini軸をアダプターを使って固定し、完全なユニットを構成しています。柔軟性、安定性、高解像度、ドリフトフリーを兼ね備えた設計になっています。X軸のパッチ角は連続的に調整することが可能です。すべての機械部品にアースポイントを装備しています。本機は、ターンアダプター、バックフォールドアダプター、ファストエクスチェンジシステムが利用可能です。この精密で信頼性の高いマニピュレーターは1993年に発明され、当社のサービスポリシーにより、第一世代のシステムは今でも世界中の研究室で使用されています。光学系の周囲に最大8台のマニピュレーターを装着することができます。
スペック
XYZ方向移動量:25 mm
モーター分解能4,8 nm
再現性:1ミクロン以下
重量(ユニット一式):2.2 kg2,2 kg
スピンドルのリード0,5 mm
再現性のある最小ステップ:20 nm
新型Miniは、Mini CompactのY軸とZ軸を改良し、可動域を25mmにしました。これにより、頑丈さが増しただけでなく、2つのTスロットが追加されたことにより、柔軟性も向上しています
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