X線回折計 X'Pert³ MRD XL

研究用

長い歴史と高い評価を誇るMalvern Panalyticalの薄膜単結晶解析X線回折装置(MRD)は、X’Pert³ MRD XL世代でも採用されています。 新しいプラットフォームの向上したパフォーマンスと信頼性により、X線散乱法の分析能力と機能を強化し、次の分野に対応しています。 • 最先端材料物性 • 研究ならびに工業用薄膜技術 • 半導体プロセス開発での計量特性評価 X’Pert³ MRD XLは、最大200mmまでの完全なウェハーマッピングにより広範なアプリケーションに対処します。 機能 X'Pert³ Extended MRD (XL)は、X'Pert³ MRDシステムの範囲に高い汎用性をもたらします。 追加のPreFIX取り付けプラットフォームにより、X線ミラーと高分解能単色光分光器をインラインで取り付けることができ、入射光の散乱強度が大幅に増強します。 データ品質を落とすことなくさまざまなアプリケーションでメリットを得ることができ、高い散乱強度の高分解能X線レーザ回析により、逆空間マッピング測定などの測定時間を短縮し、PreFIXコンセプトにより数分で標準設定から拡張設定に再構築できます。 第2世代のPreFIXにより、簡単に再設定し、光学装置の位置をこれまでになく正確に決定できます。 X'Pert³ MRD (XL)システムをIn-Plane回折に組み込むことで、サンプル表面に対して平行な格子面からの回折を測定できるようになります。 また、1つのシステムで標準配置とIn-Plane配置の分析が可能であるため、多結晶薄膜や単結晶薄膜でさまざまな回折測定を行うことができます。これらは、多数の利点の中の一部にすぎません。