ゲージ圧、絶対圧、密閉ゲージ圧測定用フラッシュマウント型ピエゾ抵抗式圧力センサMetallux ME501。高信頼性差動mV/V補償圧力センサ。
Metallux ME501圧力センサは、セラミックベースプレートとフラッシュダイアフラムで作られており、ピエゾ抵抗原理に従って動作します。ホイートストンブリッジはフラッシュセラミックダイアフラムの片面にスクリーン印刷されており、このダイアフラムはセンサ本体に接着されています。
ブリッジは空洞が作られた内部を向いており、ダイアフラムの反対側は測定する媒体に直接触れることができます。
Al2O3セラミックは耐薬品性(腐食性ガス、溶剤、酸など)に優れているため、通常、追加の保護は必要ありません。Metallux ME501センサーは、レーザー調整可能なPTC抵抗器によって熱補償され、セラミックを使用することにより、測定範囲全体にわたって高い直線性を確保し、ヒステリシスの影響を最小限に抑えます。
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