圧力センサー ME550

医療

静電容量式、Ø32mm Metallux ME550静電容量式圧力センサはゲージ圧、絶対圧、密閉ゲージ圧測定用です。低圧で高感度、外乱に強い。 Metallux ME550圧力センサは、セラミックベースプレートとフラッシュダイアフラムで作られ、コンデンサプレートの変形による静電容量の変化で圧力を測定する静電容量原理に従って動作します。可動コンデンサ・プレートは、フラッシュ・セラミック・ダイアフラム上にスクリーン印刷されており、このセラミック・ダイアフラムはセンサ本体に接着されています。 コンデンサ・プレートは空洞が作られた内部を向いており、ダイアフラムの反対側は測定される媒体に直接さらされます。センサーの通気孔は、セラミックセル（PCS）に接着された特殊フィルターによって湿気や汚れから保護されています。 直径が広く（32.4 mm）、静電容量方式を採用しているため、ME550は60 mbarという非常に低い圧力の測定に適しています。それにもかかわらず、ME550センサは高いバースト圧を特長とし、多くのアプリケーションで高い信頼性を発揮します。 Al2O3セラミックの優れた耐薬品性（アグレッシブガス、ほとんどの溶剤、酸など）により、通常、追加の保護は必要ありません。Metallux ME550センサはゲージ圧またはアブソリュート圧で提供できます。