オプトのパーティクルテストターゲットは、さまざまな形状やサイズの物体を通した顕微鏡の測定機能や、1mmあたりのラインペアで測定される光学システムの解像度の校正を可能にします。これは、残留する汚れの分析分野で使用されます。
粒子標準ターゲットは、マイクロスコープの測定機能を校正し、粒子を分析・測定することができます。さまざまな形や大きさのオブジェクトが用意されており、長方形、楕円形、円、リング、さらには繊維状のオブジェクトをチェックすることができます。また、光学的な歪みを測定するために、3つの異なるサイズのクロスターゲットが配置されています。最小のオブジェクトは5μmという小ささです。
解像度(倍率)を校正するために、XとYの2つのスケールバーがターゲットの隅に配置されています。
Opto's Particle Test Targetには、さまざまな形や大きさの定義された粒子が含まれており、以下のようなシステムの校正が簡単に行えます。
1.スケールと角度の調整
2.VDAに基づくサイズクラス
3.ディストーションフィールド
4.ディストーション・フィールド
5.粒子の領域(汚れの残ったフィルターサンプルを想定
DVD証明書付きオプション
- 校正対象
- 校正方法
- 測定条件
- 環境条件
- 測定の不確かさ
- 測定結果
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