生産システム FlexAL

FlexALシステムは、単一のALDシステムにおいて、リモートプラズマ原子層堆積（ALD）プロセスおよび熱ALDを実現し、ナノスケール構造およびデバイスの製造において、新しい柔軟性と性能範囲を提供します。 単一の柔軟なツールにおいて、リモートプラズマと熱ALDを実現 基板の真空中移送に関してクラスター化が可能 カセット交換式の取り扱いにより、スループットが増大し、製造に最適 材料および原料プリカーサーの選択にも、高い柔軟性 プラズマALDにより、低温プロセスが可能 リモートプラズマの活用により、低損傷が可能 手順主導ソフトウェアインターフェースによる、制御性および再現性の高いプロセス 最大200 mmのウェハーまで取り扱い可能 ALD製品シリーズは、学術研究、企業のR&D、少量生産の多様な要求に対応できる、一連のツールのラインナップがあります。 グローバルな、お客様サポート オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。 ご予算と状況に合わせた、サポート契約も用意しております。 迅速な対応を実現するため、戦略拠点にグローバル予備品を揃えています。