生産システム Atomfab

Atomfabは、市場最速のリモートプラズマ製造ALDシステムです。 お客様の生産ニーズに応えるソリューション 競争力のあるCoO 迅速で簡単なメンテナンス 優れたフィルム均一性 高い材料品質 低い基板損傷 サイクルタイムの短縮、高スループット クラスタ化可能で自動化されたウェーハハンドリング パフォーマンス AtomfabのALD技術は、ナノメートルスケールの高度なアプリケーションに、精密制御された超薄膜を提供します。 パワー＆RFデバイスのパッシベーションにおけるプロセスの利点 当社のエンジニアによる保証されたプロセス設定 追加/新規プロセスのライフタイムプロセスサポート 低ダメージプラズマ処理 膜汚染の少ない高品質成膜 低パーティクルレベル 短いプラズマ露光時間による高スループット プラズマ表面前処理 GaN、パワーおよびRFデバイス向けプラズマALDの利点 成膜前のプラズマ前処理による界面品質の向上 低ダメージで均一な成膜 ゼロ付近から30eVまでイオンエネルギーを制御したリモートプラズマALD ALDパッシベーション、Al2O3膜によるゲート絶縁膜。 グローバルカスタマーサポート オックスフォード・インストゥルメンツは、包括的で柔軟かつ信頼性の高いグローバルなカスタマーサポートを提供することをお約束します。お客様のシステムの寿命を通じて、優れた品質のサービスを提供します。 リモート診断ソフトウェアは、迅速かつ簡単に故障診断と解決を提供します。 ご予算や状況に応じたサポート契約をご用意しています。 迅速な対応のため、戦略的な場所にグローバル・スペアを配置