生産システム PlasmaPro 800 PECVD

PlasmaPro 800は、プラズマ励起化学気相堆積（PECVD）プロセスの柔軟なソリューションを、大きなウェハーバッチと300mmウェハーにおいて、コンパクトな専有面積かつ大気装入システムで実現します。大きなウェハー定盤により、製造レベルのバッチ処理および300mmウェハーの取り扱いを可能にします。 高性能プロセス 優れた基板温度制御 高精度のプロセス制御 実績のある、300 mm単一ウェハーの故障解析プロセス 高性能プロセス 優れた基板温度制御 精密工程管理 PlasmaPro 800は、直径460 mmのテーブルを備えていますので、300 mmのフルサイズまたは43 x 50 mm（2”）の大きなバッチに対応する能力があり、フル製造ソリューションを実現するとともに、市場をリードする実績のある製品です。 グローバルな、お客様サポート オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。 ご予算と状況に合わせた、サポート契約も用意しております。 迅速な対応を実現するため、戦略拠点にグローバル予備品を揃えています。