凝縮式微粒子カウント装置 NanoAir™ 10

製薬産業用クリーンルーム用プロセス

NanoAir™ 10 は、ISOクラス１レベルの厳しい基準で管理される清浄区域、特にウエハ搬送モジュール (EFEM) 内やプロセス装置内の常時モニタリングに適した凝縮型気中パーティクルカウンタです。流量2.8 LPMで測定し、粒径10 nmの微粒子を検出します。 NanoAir 10は従来型の扱いやすさを備えた凝縮型パーティクルカウンタです。独自の凝縮制御機構 (特許出願中) により凝縮液は安定した状態に保たれ、24時間/365日フル稼働しても凝縮液の補充は15か月間必要ありません。年次校正の際に補充すれば、モニタリングの中断は最小限にとどまります。また、凝縮の過程で発塵することがないため、高い精度で測定結果が得られます。 ローカル IPアドレスなど装置の設定情報は、取り外し可能なインターフェースユニットに保存されます。そのため、装置の入れ替えが必要なときには、インターフェースユニットを付け替えるだけでモニタリングを再開できます。 多彩な入出力ポートを搭載しており、監視制御システムとの融和性が高く、また、アプリケーションに応じて高圧ディフューザ HPD IIIや専用のマニホールド装置 ParticleSeeker™と組み合わせて使用することができます。 主な仕様 粒径10 nmの微粒子を凝縮成長させて検出 流量2.8 LPMの大容量で全量測定 コンパクト (幅152ｘ奥行203ｘ高さ165 mm)で、余剰スペースが限られるEFEM内やプロセス装置内 、ユーティリティ設備エリアに設置可能 本体に埋め込まれた ISP (等速吸引プローブ) 最大で10 mのサンプリングチューブを使用可能 独自の凝縮制御システム (特許出願中) 凝縮の過程で起きる発塵を防止する構造を持ち、非常に低い偽計数 (補正せずに1.5個/㎥未満)を実現 装置を移動しても凝縮液を安定した状態に維持 凝縮液の補充は、装置を24時間365日フル稼働させても15か月間不要なため、装置の年次校正と同時に実施可能 発塵の原因となるポンプ、ファンを内蔵せず、外部真空源を使用