イオン移動度分光器 AirSentry® II

クリーンルーム用卓上

クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC) は、電子デバイスやプロセス装置の性能に影響を及ぼし、歩留ロスや品質劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC対策の実施につながります。 AirSentry® II Point-of-Use は、AMCの常時モニタリングに適したイオンモビリティ・ スペクトロメータ (IMS) です。pptレベルの総合酸、アミン、アンモニアをリアルタイムに検知します。 AirSentry II Point-of-Use の設定・制御は、クリーンルームのモニタリングを統合管理するソフトウェア Facility Net (オプション) を使用してネットワーク経由で行います。Facility Net には測定データを収集、保存、リアルタイム表示する機能や、アラーム、レポートを生成する機能などがあり、AMC汚染源の特定と発生防止に向けた的確な判断と迅速な対処を可能にします。 総合酸、アミン、アンモニアのほかに、塩化物 (塩素および濃塩酸) を測定するモデルもあります。