温度センサー PFLOW213U-2210

圧力マスフロー湿度

測定範囲 [SCCM] 0～2000 精度 [±% FS] 最大 2 湿度範囲 0...100% RH、水結露に耐性 サプライヤー Pewatron 出力信号 リニア、1〜5VDC 電源電圧 [VDC] 8... 14 湿潤材料 炭化ケイ素、エポキシ、PPS、FR4、静的なシールとしてのシリコーン 説明 PFLOWシリーズマスエアフローsen-sors は、 最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスの革新を組み込んでいます。 センサー・ダイは、一対の サーモパイルを使用して、質量流量による温度勾配の変化を検出し、超低ノイズ信号と卓越した再現性を実現します。 センサダイの「ソリッドステート」熱絶縁により、 競合するソリューションで使用される表面空洞や壊れやすい膜が不要になり、センサが目詰まりや圧力ショックに抵抗します。 センサの内部シグナル・コンディショニング回路は 、既製のマイクロコントローラを活用し、実証済みの 信頼性と低コストを提供します。 質量気流センサのPFLOWシリーズは、 10sccmから2000sccmの範囲をカバーしています。 センサ は完全に校正され、 0～50°C（32～122°F）の温度範囲で補償されます。 直線化されたアナログ出力（1～5V）は、 最大限の柔軟性と使いやすさを提供します。